■ Tổng quan
Máy chuyển đổi wafer là một máy tự động chuyển wafer từ wafer cassette sang wafer cassette hoặc từ cassette sang thuyền theo cả hai chiều.
Nó có thiết kế nhỏ gọn bằng cách gắn các khay wafer ở trên và dưới.
Hình ảnh là một máy chuyển 8 inch, nhưng các kích thước khác cũng có sẵn.
■ Tính năng
Thiết kế nhỏ gọn
Có thể được xử lý với một khái niệm mâm cặp độc đáo
Loại sản phẩm có thể được chọn bằng bảng điều khiển cảm ứng
Có thể in lại trong khoảng 20 giây mỗi tờ
Được trang bị chức năng phát hiện hiện diện băng cassette và chức năng phát hiện cửa sổ bật ra tấm wafer
Có sẵn ở 100V
■ Thông số kỹ thuật
Mục tiêu công việc: φ8 inch
Băng cassette: Băng cassette φ8 inch (13 miếng)
Tact: 20 giây mỗi tờ
Phương pháp điều khiển: Bảng điều khiển cảm ứng
Cơ chế an toàn: Phát hiện sự hiện diện của khay cassette / chức năng phát hiện cửa sổ bật ra tấm / phát hiện quá tải / cảnh báo bất thường / dừng khẩn cấp
Kích thước: 500 (W) x 700 (D) x 1600 (H) mm 200kg
■ Công dụng chính
chất bán dẫn
Thiết bị điện
Linh kiện điện tử