■概要
熱放射に優れ、絶縁性も高く且つ熱伝導率が高いファインセラミックスです。
窒化アルミは、特に高温特性に優れたセラミックスです。
熱伝導率が極めて高く、ファインセラミックスでは炭化珪素と肩を並べる熱伝導率を誇り＝170W、線膨張係数がSiに近く耐食性にも優れている事から半導体製造装置用部材や基板としても幅広く利用されております。
また、その熱に対する特性からヒーター用途にも適しております。
半導体後工程ボンディング用ヒーターツールとしても利用されており、厳しい平面／平行度や面粗度を要求されますが、当社では過去より数多くのツールを手掛けており、その実績と加工ノウハウを有しております。
■特徴
ファインセラミックスの中で高い熱伝導率と放射性。
電気絶縁性が高く耐食性にも優れる。
セラミックスの中では高額材料。
高強度、高温伝導率、高強度、高ヤング率、低膨張率などを有している。
■仕様
熱伝導率170Wタイプ
熱伝導率90W高純度タイプ
その他グレードはお問合せ下さい
■導入事例
半導体製造装置用部品
ヒートシンク、絶縁硝子、保護管、放熱ベース など
放熱、絶縁性を要する電気部品 など