■概要
ウェハ移載機は、ウェハカセットからウェハカセットまたはカセットからボートへウエハを双方向に移載する自動機です。
ウェハカセットを上下に搭載する事でコンパクトな設計となっております。
画像は８インチ移載機ですが、それ以外のサイズでも対応可能です。
■特徴
コンパクト設計
独自のチャック構想でハンドリング可能
タッチパネルにより品種選択可能
１枚２０秒程度で移載が可能
カセット有無検知やウェハ飛出検知機能搭載
100Vにて対応可能
■仕様
対象ワーク:φ8インチ
カセット：φ８インチカセット（１３枚入り）
タクト：１枚２０秒～
制御方式：タッチパネル
安全機構：カセット有無検知・ウェハ飛出検知機能・過負荷検知・異常警報・非常停止
サイズ：500(W)×700(D)×1600(H)mm 200kg
■主な用途
半導体
パワーデバイス
電子部品