セプラ® ■概要 高純度ポリイミド成型体、低温から高温まで幅広く優れた特性を維持するスーパーエンジニアリングプラスチックスです。 従来のポリイミド成型体と比較し、耐熱性、酸素プラズマ耐久性、 アウトガス特性、切削加工性と吸水性が大幅に向上。 有機材料の中で最高クラスの熱変形度470度を達成。 ■特徴 超耐熱性(熱変形温度470℃) プラズマ耐性 低アウトガス 低不純物濃度 低吸水性 ■主な用途 半導体製造装置用部品 摺動部品 摩耗部品 絶縁部品 耐熱部品