■概要
高負荷環境下でも抜群の性能。高耐熱性と高機械強度に優れたスーパーエンジニアリングプラスチックスです。SCM7000は、高耐熱性と高機械強度に優れております。
⾼耐熱性樹脂PBI=ポリベンゾンイミダゾールは、その優れた耐熱性と⾼強度を発揮し、⾼温下、プロセスガス等の腐⾷環境、不純物を嫌う環境、機械的強度が必要な摩耗懸念のある箇所、等々製造⼯程における様々な懸念事項に対し優れた性能を発揮します。
特に、半導体/液晶製造⼯程における厳しい環境には、従来広く利⽤されているポリイミド材を上回る性能を発揮します。
■特徴
高耐熱性と高機械強度
耐熱435℃(事例はお問合せ下さい)
低膨張率と低熱伝導
プラズマ耐性
■主な用途
半導体製造装置用部品
摺動部品
摩耗部品
絶縁部品
耐熱部品