セプラ®

■概要

高純度ポリイミド成型体、低温から高温まで幅広く優れた特性を維持するスーパーエンジニアリングプラスチックスです。
従来のポリイミド成型体と比較し、耐熱性、酸素プラズマ耐久性、
アウトガス特性、切削加工性と吸水性が大幅に向上。
有機材料の中で最高クラスの熱変形度470度を達成。

 

■特徴

超耐熱性(熱変形温度470℃)
プラズマ耐性
低アウトガス
低不純物濃度
低吸水性

 

■主な用途

半導体製造装置用部品
摺動部品
摩耗部品
絶縁部品
耐熱部品